2.6. Пневмо-гидросистема (поз. 37).

2.6. Пневмо-гидросистема (поз. 37).
Гидросистема служит для охлаждения:
- вакуумной камеры;
- импульсно-дугового испарителя;
- ионного источника;
- ТМН;
- лазер имеет собственную автономную систему охлаждения.
Для охлаждения камеры и технологических устройств применяется система автономного водоснабжения ZR48-НК1, с расходом 2 600 л/час. Температура охлаждающей жидкости – 5…250С. Емкость заправки буферного бака – до 100 литров дистиллированной воды.
Система охлаждения имеет датчики и клапаны для организации автоматической работы установки, имеет устройства для регулировки расхода воды по охлаждающим узлам. Подача горячей воды обеспечивается встроенным проточным нагревателем. На входах холодной и горячей воды имеются фильтры. Включение и отключение подачи холодной/горячей воды к отдельным узлам осуществляется с помощью электромагнитных вентилей, за исключением ТМН, охлаждение которого осуществляется постоянно. Для контроля за подачей воды в системе предусмотрены реле расхода. Для предотвращения попадания воды в камеру во время замены тиглей в электронно-лучевых испарителях предусмотрены ручные шаровые вентили. Пневматическая система предназначена для управления высоковакуумным затвором, форвакуумным клапаном для низковакуумной откачки ТМН, байпасным клапаном для низковакуумной откачки камеры и центрального элемента кварцевого контроля. На входе в пневмосистему вакуумной установки имеется блок подготовки воздуха, состоящий из фильтра-влагоотделителя, маслораспределителя и манометра, регулируемого реле давления. Все пневмораспределители имеют глушители для обеспечения бесшумной работы.
Для создания сжатого воздуха предусмотрен встроенный компрессор с ресивером объемом не менее 20 л. Напуск воздуха в камеру обеспечивается клапаном напуска (поз. 27) с глушителем.

결과 (한국어) 1:

2.6. 압축 공기를 넣은 유압 시스템 (게재 순위 37). 유압 냉각에 대 한 제공: -진공 챔버; -펄스-아크의 증발 기; 이온 소스; -ТМН; 레이저는 그것의 자신의 냉각 시스템. 자동 물 공급 ZR48 NK1은 냉각 챔버 및 기술적 장치 유량 2 600 l/h. 냉각수 온도-5... 250s 버퍼 탱크 용량-최대 증류수의 100 리터 급 유. 냉각 시스템 센서와 자동 작업 조직의 설치용 밸브, 물 흐름 조정 사이트 냉각 장치. 뜨거운 물 내장 물 히터에 의해 제공 됩니다. 따뜻한 것과 차가운 물에 필터를 사용할 수 있습니다. 활성화 및 비활성화 차가운/뜨거운 물 개별 노드에 이루어집니다 제외 ТМН, 솔레노이드 밸브를 사용 하 여이 지속적으로 냉각. 물 공급 모니터링 시스템 흐름 속도 릴레이 제공 합니다. 물을 방지 하기 위해 진입 전자 빔 증발 도가니의 교체 하는 동안 카메라에 수동 볼 밸브를 제공 합니다. 공 압 시스템은 높은 진공 제어 게이트, forvakuumnym nizkovakuumnoj 밸브 펌프 ТМН, nizkovakuumnoj 펌핑 챔버에 대 한 바이패스 밸브 및 석 영 제어의 중앙 요소 설계 되었다. 진공의 공 압 시스템에 입구에서 필터-교통, masloraspredelitelâ 및 압력 게이지, 조정 가능한 압력 스위치의 구성 된 유지 보수 단위가 있다. 모든 톱 자동 작동 되도록 달 았 죠 있다. 압축 공기를 만들려면 20 l. 오버랩 카메라 공기 소음으로 밸브 오버랩 (게재 순위 27)에 의해 지켜진다 보다 하지의 수신기 볼륨 내장 압축기는 있다.

결과 (한국어) 2:

2.6. . 유공압 시스템 (. POS 37)
: 유압 시스템은 냉각에 사용되는
진공 챔버를 -
- 펄스 아크 증발기
- 이온 소스;
- TMN;
- 레이저 냉각의 자신의 독립적 인 시스템을 갖추고 있습니다.
챔버 기술 장치, 독립적 인 물 공급 ZR48의 냉각 시스템은 -NK1 2천6백리터 / h의 속도. 냉각수 온도 - 5 ... 250C. 버퍼 탱크 용량을 작성 -. 증류 물 100 리터까지
냉각 시스템은 센서 장치의 자동 운전의 밸브를 가지며, 노드 냉각 물 유동을 조절하기위한 장치를 갖는다. 온수 내장 관류 히터에 의해 제공된다. 추위와 뜨거운 물을 사용 가능한 필터하십시오. TMN 제외한 활성화 또는 솔레노이드 밸브에 의하여 각각의 노드에 냉 / 온수를 사용하지 않도록, 냉각은 연속적으로 수행된다. 물 공급 시스템을 제어하도록하면 유량 스위치를 포함한다. 수동 볼 밸브를 제공 전자빔 증발기에서 도가니 변경시 카메라의 물의 침입을 방지 할 수있다. 공압 시스템은 TMN, 저 진공 펌핑 챔버 용 바이 패스 밸브와 석영 중앙 제어 소자를 저 진공 펌핑을 위해 고 진공 게이트 밸브 백킹을 제어하기 위해 사용된다. 공압 진공 장치의 입구에 필터 드라이어, 오일 유통 및 압력계, 압력 조절 스위치로 이루어지는, 서비스 유닛을 갖는다. 모든 밸브는 조용한 작동을위한 머플러가 있습니다.
이하 20보다 리터의 내장 수신기와 압축 공기 압축기를 만들 수 있습니다. 챔버 내의 공기의 입장은 소음기와 밸브 입구 (POS. 27)에 의해 제공된다.