- 레이저 (. POS 4) 전원 공급 장치와 POS (20).
- 스테퍼 - 집속 레이저 빔의 시스템 및 광 입력을 따라 변위 및 900 (POS 5.) 차례]
- 저에너지 이온 소스 (POS 6.) 이온 용 정제 전원 (19 POS.); - 금형 입력 회전과 단일 및 이중 회전 (POS 33.) (POS 21.)
- 모바일 시스템 및 고정 마스크 (POS 32.) 부품의 표면상의 코팅의 두께를 균일화하는,
프레임 - 파워 (. POS 13) ;
- 공압 액츄에이터 타입 고진공 슬라이드 밸브 적어도 DN250 (POS 8.),
- "드라이"펌프 (POS 7.) 질소 적어도 20 리터 / S의 펌핑 속도와; - 백업 밸브 (POS 11.) DN40 (공압), 제조 당사에;
- 바이 패스 밸브 (POS (12).) Du63 (공압), 제조 SMC;
- 활성 센서 압력 (진공) (POS (15)와 POS (26)..)
- 보호 ; 내장 잠금 장식 패널의
제어 및 전력 (. POS 9 위치 10) -
- 2000 University of Florida의 용량 배터리 (. POS 16)
- 배터리의 용량 충전의 단위 (POS 17.)
-. 미터 (POS (23) ) 전원 공급 장치 (POS 24)와;.
-. 패널 PC POS (35)
.. - 키보드 POS (34)
.. - 공압 수압 POS (37)
모든 단위는 단일 플랫폼에 배치됩니다.
번역되고, 잠시 기다려주십시오..