1. Вакуумная установка состоит из:

1. Вакуумная установка состоит из:
- вакуумной камеры (поз. 1) из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения;
- турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе (поз. 2) со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту с контроллером (поз. 18), установленном на колене (поз. 29);
- импульсно-дугового испарителя (поз. 3), установленного на сепараторе (поз. 14);
- поворачивающих соленоидов (поз. 30 и 31) с источниками питания (поз. 22);
- кварцевых датчиков (поз. 36) толщины наносимых покрытий с контроллером (поз. 25);

결과 (한국어) 1:

1. 진공 단위 이루어져 있다: -진공 챔버 (게재 순위 1) 스테인리스 700  크기 × 700 mm 냉각;의 스트림 -turbomolekulârnogo 리니어 펌프 (게재 순위 2) 무릎 (게재 순위 29);에 설치 된 컨트롤러 (게재 순위 18)와 질소 이상 2000 l/sec의 속도 펌핑 -펄스-아크 증발 (게재 순위 3), 구분 (게재 순위 14);에 설치 -povoračivaûŝih 솔레노이드 (게재 순위 30, 31) 소스 공급 (게재 순위 22); -석 영 센서 (게재 순위 36) 코팅의 두께 적용 컨트롤러 (게재 순위 25);

결과 (한국어) 2:

1. 진공 시스템으로 구성
- 700 × 700mm 냉각 흐름을 측정하는 진공 챔버 (. 순위 1) 스테인레스 스틸;
- 적어도 2천리터 / s의 질소의 펌핑 속도와 자기 서스펜션이 장착 된 터보 분자 펌프 (POS 2.) 제어기 (. POS 18)가 무릎에 탑재 (POS 29.)
- 펄스 아크 증발기 (. POS 3)은 세퍼레이터에 장착 된 POS (14.)
- 전력 공급과 솔레노이드 (POS 30 및 31). 선회 POS (22.)
- 석영 센서 (36 POS.) 제어기에 코팅의 두께 (POS 25).