2. Основные технические параметры.

2. Основные технические параметры.
2.1. Предельно достижимое давление в рабочей камере, без ее прогрева, не более 1,33×10-5 Па. Время выхода ТМН (поз. 2) на рабочий режим не более 12 мин. Время остановки ТМН не более 12 мин. Время откачки от атмосферного давления до давления 5×10-3 Па в камере, без её предварительного прогрева не превышает 30 мин. Ориентация ТМН – вертикальная, «вверх ногами», для минимизации попадания остатков продуктов напыления в ТМН. Применение ТМН на магнитном подвесе позволяет полностью исключить попадание масла в камеру. Контроллер (поз. 18) ТМН определяет его работу в целом. Механический насос (поз. 7) – «сухой» насос с производительностью не менее 20 л/с по азоту.

결과 (한국어) 1:

2. 주요 기술적인 매개 변수입니다. 2.1. 최대 달성 가능한 압력 그녀의 준비, 이상 1.33 × 없이 작업 챔버, 10-5 아빠 시간-ТМН (게재 순위 2) 12 분의 동작 모드를. 12 분 이상 ТМН를 중지 하는 시간. 5 × 10-3 Pa 예 열 하지 않고 셀에 30 분을 초과 하지 않는의 압력을 대기압에서 피난 시간. ТМН 방향-세로, "거꾸로", ТМН에 잔여 살포 제품을 최소화 하기 위해. 응용 프로그램은 ТМН의 부상 하면 카메라에 석유를 완전히 제거. 컨트롤러 (게재 순위 18) 전체적으로 그의 작품을 정의 하는 ТМН. 기계식 펌프 (게재 순위 7)-질소 건조 하지 미만 20 l/s의 용량 펌프.

결과 (한국어) 2:

주요 기술적 인 매개 변수 2.
2.1. 그 가열없이 챔버 내의 최대 달성 압력, 더 이상 1.33 × 10-5 아빠. 작업 모드에 TMN (POS. 2)에 시간은 10 분 이상하지 않습니다. 시간 12 분 이상 더 이상 TMN을 중지합니다. 그 예열없이 챔버에 5 × 10-3 Pa의 압력이 대기압으로부터 배출 시간은 30 분 이상이 아니다. TMN 방향 - 수직 "거꾸로"TMN 음식 잔여 증착과 접촉을 최소화하기 위해. TMN 자기 서스펜션의 적용은 완전히 챔버에 들어가는 기름을 제거 할 수있다. 제어기 (POS. 18) TMN은 전체 동작을 결정한다. 기계식 펌프 (7 POS.) - 질소의 적어도 20 리터 / S의 "건조"펌프 용량.