Чувствительный элемент системы контроля толщины покрытия представляет собой двойной датчик с управляемой заслонкой.
2.4. Узел фотометрического контроля толщины растущей пленки (условно не показан, отдельная опция).
Узел фотометрического контроля представляет собой систему реального времени на основе ИК Фурье (спектровизор) в диапазоне 3000 ÷ 20 000 нм. Способ контроля: постоянный на пропускание по свидетелю.