2.2. Узел измерения вакуума. Контро

2.2. Узел измерения вакуума.
Контроль вакуума от 105 Па до 10-5 Па.
Контроль давления в диапазоне от 105 Па до 10-1 Па осуществляется в следующих точках на основе манометрических преобразователей – вакуумных датчиков Edwards Pirani APG100 NW16 (поз. 15):
- на входе форвакуумного агрегата;
- в форвакуумной магистрали на выходе ТМН;
- в вакуумной камере.

결과 (한국어) 1:

2.2. 진공의 측정. 진공 제어 105에서 10-5 아빠를 펜 실바 니 아 컨트롤의 범위에서 압력의 10-1 Pa PA 압력 게이지 변환기-진공 게이지 에드워즈 피 APG100 NW16에 따라 다음과 같은 포인트에서 수행 됩니다 (15 항목):-forvakuumnogo 단위;의 입구에서 -forvakuumnoj 고속도로에서 출구 ТМН; -진공 챔버에.

결과 (한국어) 2:

2.2. . 진공의 노드 측정
. (105) 파에서 10-5 아빠 진공 제어
다음과 같은 점에서 105 파에서 10-1 아빠의 범위에있는 압력은 마노미터 트랜스 듀서를 기반으로 수행 - 에드워즈 라니 진공 센서 NW16 APG100 (POS를 15.) :
-에 의해 ; 입력부 백업
, 전방 라인 파이프를 배출구 TMN -
진공 챔버에서 -.